[发明专利]用于使掩蔽装置非接触地悬浮的方法在审
| 申请号： | 201780039914.0 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109844163A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫·艾德勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L21/677;C23C16/04;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/68;B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种方法包括使掩模组件(200)非接触地悬浮。所述掩模组件包括载体(210)和由所述载体支持的掩蔽装置(20)。所述方法包括在使掩模组件非接触地悬浮时控制载体的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模组件 非接触 悬浮 掩蔽装置 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：使掩模组件(200)非接触地悬浮，所述掩模组件(200)包括载体(210)和由所述载体支持的掩蔽装置(20)；和在所述掩模组件非接触地悬浮时控制所述载体的形状。
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