[发明专利]二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置有效
| 申请号： | 201780035679.X | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109313337B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 胜山俊夫;石神龙哉 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人福井大学 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置。二维光扫描镜装置具有：基板；以能够进行二维光扫描的方式支承在所述基板上的可动镜部；设置于所述可动镜部的硬质磁性薄膜；以及磁场产生装置，其至少包含驱动所述可动镜部的交流磁场产生装置，其中，所述硬质磁性薄膜在膜平面方向上具有磁化方向，所述磁场产生装置产生的磁场与所述硬质磁性薄膜的矫顽力的比为0.2以下。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 扫描 装置 及其 制造 方法 以及 图像 投影 | ||
【主权项】：
1.一种二维光扫描镜装置，其具有：基板；可动镜部，其具有光扫描旋转轴，该可动镜部以能够进行二维光扫描的方式支承在所述基板上；硬质磁性薄膜，其设置于所述可动镜部；以及磁场产生装置，其至少包含驱动所述可动镜部的交流磁场产生装置，所述硬质磁性薄膜在膜平面方向上具有磁化方向，所述磁场产生装置产生的磁场与所述硬质磁性薄膜的矫顽力的比为0.2以下。
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