[发明专利]二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置

说明书

二维光扫描镜装置及其制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置。二维光扫描镜装置具有：基板；以能够进行二维光扫描的方式支承在所述基板上的可动镜部；设置于所述可动镜部的硬质磁性薄膜；以及磁场产生装置，其至少包含驱动所述可动镜部的交流磁场产生装置，其中，所述硬质磁性薄膜在膜平面方向上具有磁化方向，所述磁场产生装置产生的磁场与所述硬质磁性薄膜的矫顽力的比为0.2以下。

技术领域

本发明涉及二维光扫描镜装置、该二维光扫描镜装置的制造方法、二维光扫描装置以及图像投影装置，例如，涉及用于扫描光束的反射镜装置的结构及其制造方法、使用该反射镜装置的二维光扫描装置以及图像投影装置。

背景技术

以往，作为在垂直的2个方向上扫描激光束等光束的装置，已知有各种各样的光扫描镜装置。其中，由于能够使装置小型化，所以MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)镜装置被广泛使用。

在MEMS镜装置中，与驱动方式对应地已知有静电驱动型、压电驱动型、电磁驱动型等。其中，电磁驱动型MEMS光扫描镜装置利用磁场的力。

作为该电磁驱动型MEMS光扫描镜装置，提出有在扫描光的可动部分上形成线圈并以与来自外部的静磁场的劳伦兹力使镜在特定的角度范围内旋转的“可动线圈方式”(例如，参照专利文献1或者专利文献2)。此外，还提出有在扫描光的可动部分上形成磁性体并使用来自外部的与调制磁场之间的排斥力和吸引力使镜在特定的角度范围内旋转的“可动磁铁方式”(例如，参照专利文献3或者非专利文献1)。

现有技术文件

专利文献

专利文献1:日本特开2008-242207号公报

专利文献2:日本特开2016-012042号公报

专利文献3:日本特开2010-049259号公报

专利文献4:日本特开2013-195603号公报

专利文献5:美国专利申请公开2010/0073262号公报

非专利文献

非专利文献1：IEEE Photonics technology Letters,Vol.19,No.5,pp.330-332,March 1,2007

发明内容

发明要解决的课题

在上述电磁驱动型MEMS镜装置中，以后者的可动磁铁方式，需要在扫描光的可动部分上形成磁性体，但通常，由于磁性体的体积变大，除了镜以外还形成磁性体，因此，产生扫描光的可动部分的小型化变得困难的问题。此外，还产生与可动部分仅为镜的情况相比可动部分的结构变得复杂的问题。这些问题对于形成特别小型的MEMS镜装置来说是致命的问题。

本发明的目的在于使镜可动部的构造简单化并且小型化。

用于解决问题的手段

在一个方式中，二维光扫描镜装置具有：基板；可动镜部，其具有光扫描旋转轴，该可动镜部以能够进行二维光扫描的方式支承在所述基板上；硬质磁性薄膜，其设置于所述可动镜部；以及磁场产生装置，其至少包含驱动所述可动镜部的交流磁场产生装置，所述硬质磁性薄膜在膜平面方向上具有磁化方向，所述磁场产生装置产生的磁场与所述硬质磁性薄膜的矫顽力的比为0.2以下。

在其他方式中，二维光扫描镜装置的制造方法具有以下工序：在基板上形成硬质磁性薄膜的工序；对所述硬质磁性薄膜进行磁化的工序；以及对所述磁化后的硬质磁性薄膜进行加工从而形成可动镜部的工序。

并且，在其他方式中，二维光扫描装置具有：上述的二维光扫描镜装置；以及光源，其形成在基板上。