[发明专利]合成金刚石散热器有效
| 申请号： | 201780035410.1 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109312458B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | D·推特陈 | 申请（专利权）人： | 六号元素技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;H01L21/02;H01L23/373 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 谭冀 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 合成金刚石散热器，其包括形成基底支撑层的第一合成金刚石材料层和设置在该第一合成金刚石材料层上并形成金刚石表面层的第二合成金刚石材料层。该金刚石表面层具有的厚度等于或小于该基底支撑层的厚度。该金刚石表面层具有的氮含量小于该基底支撑层的氮含量。选择该金刚石表面层和该金刚石支撑层的氮含量使得该基底支撑层的热导率在1000W/mK至1800W/mK范围内和该表面支撑层的热导率在1900W/mK至2800W/mK范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 金刚石 散热器 | ||
【主权项】：
1.合成金刚石散热器，该合成金刚石散热器包含：形成基底支撑层的第一合成金刚石材料层；和设置在该第一合成金刚石材料层上并形成金刚石表面层的第二合成金刚石材料层，其中该金刚石表面层具有的厚度等于或小于该基底支撑层的厚度，其中该金刚石表面层具有的氮含量小于该基底支撑层的氮含量，和其中选择该金刚石表面层和该金刚石支撑层的氮含量使得该基底支撑层的热导率在1000W/mK至1800W/mK范围内和该表面支撑层的热导率在1900W/mK至2800W/mK范围内。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
