[发明专利]膜结构体及其制造方法有效
| 申请号： | 201780033448.5 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN109196672B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 木岛健 | 申请（专利权）人： | 克里斯托株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/853 | 分类号： | H10N30/853;C23C14/08;H01L21/316;H10N30/076;H10N30/077;H10N30/097 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
膜结构体(10)具有基板(11)、形成在基板(11)上且包含组成式Pb(Zr |
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| 搜索关键词： | 膜结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种膜结构体，其具有：基板；形成在所述基板上且包含以下的组成式(化1)所示的第一复合氧化物的第一膜；以及形成在所述第一膜上且包含以下的组成式(化2)所示的第二复合氧化物的第二膜，Pb(Zr1‑xTix)O3…(化1)Pb(Zr1‑yTiy)O3…(化2)所述x满足0.10＜x≤0.20，所述y满足0.35≤y≤0.55，所述第一膜具有拉伸应力，所述第二膜具有压缩应力。
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