[发明专利]附着物收集装置以及检查系统有效

专利信息
申请号: 201780032937.9 申请日: 2017-05-29
公开(公告)号: CN109196329B 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 熊野峻;杉山益之;永野久志;生井诚;伊藤孝广 申请(专利权)人: 株式会社日立制作所
主分类号: G01N1/02 分类号: G01N1/02;G01N1/22
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 张敬强;金成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。
搜索关键词: 附着物 收集 装置 以及 检查 系统
【主权项】:
1.一种附着物收集装置,其特征在于,具备:具有多个喷出气体的喷出口的面;使对象物从上述面分离的隔离物;以及回收朝向上述对象物喷出的上述气体的回收口,利用上述气体来收集附着于上述对象物的附着物。
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