[发明专利]附着物收集装置以及检查系统

说明书

为了稳定地从检查对象物剥离物质，其特征在于，具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且，其特征在于，支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外，其特征在于，支撑部(H)具有长方体形状，并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向，彼此距离变短。

技术领域

本发明涉及将附着于检查对象物的物质剥离并收集的附着物收集装置以及检查系统的技术。

背景技术

在光学领域、环境领域等中，对附着于检查对象物的附着物的物质进行分析。尤其是，为了在环境领域内把握环境污染的状态，需求迅速、实时地计测且高灵敏度地计测附着物的分析装置。并且，在工业领域中以生产工序的管理、品质管理作为目的，需求迅速、实时地计测且高灵敏度地计测附着于工业产品的附着物成分的分析装置。

例如，专利文献1中公开分析装置以及分析方法，即“其特征在于，具备：使附着于对象的试料剥离的送气部；对从上述对象剥离出的试料进行吸引的吸气部；使上述所吸引到的试料浓缩并捕集的微粒子捕集部；从上述微粒子捕集部导入试料并使之离子化的离子源部；对上述离子源部所生成的离子进行质量分析的质量分析部；控制上述离子源部和上述质量分析部的控制部；保存出自检测对象物质的质谱数据的数据库部；以及对照上述质量分析部的试料的质量分析结果与保存于上述数据库部的质谱数据来判定上述检测对象物质的有无的判定部”(参照权利要求1)。

并且，例如，专利文献2中公开分析装置，即“其特征在于，具备：认证部，其具备用于插入对象的开口部以及内部空间，对上述对象进行认证；送气部，其相对于上述对象至少从两个不同的方向产生喷射气流；回收口，其与上述认证部的上述内部空间连接，回收从上述对象剥离出的气体以及/或者微粒子；吸气部，其吸引从上述对象剥离出的气体以及/或者微粒子；流量控制部，其控制上述送气部的喷射气流以及上述吸气部的吸引；微粒子捕集部，其浓缩并捕集上述所吸引到的气体以及/或者微粒子含有的检测对象物质；分析部，其分析从上述微粒子捕集部导入的上述检测对象物质；以及分析判定控制部，其根据上述分析部所分析出的结果来判定上述检测对象物质的有无”(参照权利要求1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：PCT/JP2011/075666

专利文献2：PCT/JP2014/071718

发明内容

发明所要解决的课题

现今，在回收附着于检查对象物的附着物并且迅速、实时地分析所回收到的附着物的情况下，喷出气流的喷出口与检查对象物的位置关系不恒定，从而有剥离效率以及回收效率不稳定的课题。

本发明是鉴于这样的背景而完成的，本发明的课题在于稳定地从检查对象物剥离物质。

用于解决课题的方案

为了解决上述的课题，本发明的特征在于，具备：具有多个喷出气体的喷出口的面；使对象物从上述面分离的隔离物；以及回收朝向上述对象物喷出的上述气体的回收口，利用上述气体来收集附着于上述对象物的附着物。

在实施方式中说明其它解决方案。

发明的效果如下。

根据本发明，能够稳定地从检查对象物剥离物质。

附图说明

图1是示出附着物收集装置的简要剖视图的图。

图2是示出从上观察第1实施方式的附着物收集装置时的喷出口、检查对象物、支撑部、回收口的位置关系的图。

图3是从检查对象物的插入口侧观察第1实施方式的附着物收集装置的图。