[发明专利]晶片处理器门接口

摘要

处理系统包括至少一个处理器，所述处理器具有用于保持处理液体的罐。在罐上方的清洁组件设有上部壳体和下部壳体，所述上部壳体具有至少一个上部壳体喷射喷嘴，所述下部壳体具有至少一个下部壳体喷射喷嘴，其中下部壳体在上部壳体下方。上部壳体与下部壳体之间的门能够经由致动器从打开位置移动到关闭位置，其中在所述打开位置中通过清洁组件的装载口是打开的，并且其中在所述关闭位置中装载口是关闭的。门大部分地防止上部壳体中使用的液体向下移动到罐中的处理液体中，并且还可改善系统中的气体流动。

主权项

1.一种处理系统，包括：处理器，所述处理器具有罐，所述罐用于保持处理液体；清洁组件，所述清洁组件在所述罐上方，其中所述清洁组件包括：上部壳体，所述上部壳体具有至少一个上部壳体喷射喷嘴；下部壳体，所述下部壳体具有至少一个下部壳体喷射喷嘴，其中所述下部壳体在所述上部壳体的下方；门，所述门在所述上部壳体与所述下部壳体之间，其中所述门能够从打开位置移动到关闭位置，其中在所述打开位置中通过所述清洁组件的装载口是打开的，在所述关闭位置中所述装载口是关闭的；和致动器，所述致动器附接到所述门，以将所述门移动到所述打开位置中和所述关闭位置中。