[发明专利]监测增亮剂在酸性铜/铜合金电镀浴中的总量的方法和受控的电镀过程有效
| 申请号： | 201780027149.0 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN109072468B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | M-I·穆拉利;T·沃斯;A·基尔布斯 | 申请（专利权）人： | 德国艾托特克公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D21/12;G01N27/42 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在铜/铜合金电镀过程期间监测增亮剂在酸性铜/铜合金电镀浴中的总量的方法、这类方法用于控制电镀过程的用途、利用根据本发明的监测方法将铜/铜合金电解沉积到衬底上的受控过程、以及一种或多于一种氧化还原活性化合物用于监测和/或测定增亮剂在所述酸性铜/铜合金电镀浴中的总量的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 增亮剂 酸性 铜合金 电镀 中的 总量 方法 受控 过程 | ||
【主权项】：
暂无信息
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