[发明专利]监测增亮剂在酸性铜/铜合金电镀浴中的总量的方法和受控的电镀过程

权利要求书

1.一种在铜/铜合金电镀过程期间监测增亮剂在酸性铜/铜合金电镀浴中的总量的方法，所述方法包含以下步骤：

(a)提供来自所述电镀浴的电镀浴样品，所述电镀浴包含

(a-1)一种或多于一种选自由以下组成的群组的增亮剂：

其中

n和m独立地是1、2、3、4或5，并且

p独立地是0、1或2，

(a-2)铜离子

(a-3)氯离子，

(b)向所述电镀浴样品中加入

(b-1)一种或多于一种不是(a-2)的化合物的氧化还原活性化合物，其中所述氧化还原活性化合物

-呈现-0.80V到+1.45V的范围内的标准电势E⁰，并且

-选自由以下组成的群组：金属离子、金属氧化物离子、碘离子和分子氧，从而生成测量样品，

(c)包含工作电极的测量单元，所述工作电极与所述测量样品接触

通过极化所述电极来测量所述工作电极的伏安或计时安培响应，以此方式获得电化学电流数据，

(d)任选地处理步骤(c)中获得的所述电化学电流数据以获得经过处理的电化学电流数据，

(e)比较步骤(c)中获得的所述电化学电流数据或步骤(d)中获得的所述经过处理的电化学电流数据与参考电化学电流数据或经过处理的参考电化学电流数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化还原活性化合物选自由以下组成的群组：铁离子、锰离子、镍离子、锌离子、银离子、碘离子和分子氧。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化还原活性化合物选自由以下组成的群组：Fe²⁺、Fe³⁺和分子氧。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化还原活性化合物选自由Fe²⁺和Fe³⁺组成的群组。

5.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中所述一种或多于一种增亮剂包含和/或其中

n和m独立地是2、3或4。

6.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中所述一种或多于一种增亮剂包含其中n和m是3。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中在步骤(a)中提供所述电镀浴样品之前，在采用至少一个可溶性铜阳极的所述铜/铜合金电镀过程中利用所述酸性铜/铜合金电镀浴。

8.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述电镀浴样品的总重量计，步骤(a)中提供的所述电镀浴样品以0到50ppm的总量包含铁离子。

9.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述电镀浴样品的总重量计，步骤(a)中提供的所述电镀浴样品以0到50ppm的总量包含不是铜离子和锡离子的可还原金属离子。

10.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述测量样品中电镀浴样品的量计，所述测量样品中的组分(b-1)的总量超过50ppm。

11.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述测量样品中电镀浴样品的量计，所述测量样品中的组分(b-1)的总量是90ppm或更多。

12.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述测量样品中电镀浴样品的量计，所述测量样品中的组分(b-1)的总量是140ppm或更多。

13.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的方法，其中按所述测量样品中电镀浴样品的量计，所述测量样品中的组分(b-1)的总量是200ppm或更多。