[发明专利]微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压有效
| 申请号： | 201780026534.3 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN109155890B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 基耶朗·哈尼;亚得里安努斯·玛莉亚·拉福德;布莱恩·摩斯;迪昂·伊弗·德·卢 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;B81B7/00;H04R19/04;H04R3/04 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆;程爽 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了微机电系统(MEMS)传感器和相关的偏置电压技术。示例性MEMS传感器，诸如本文描述的示例性MEMS声学传感器或麦克风，可以采用一个或多个偏置电压发生器和单端或差分放大器布置。所描述的各种实施例可以有效地增加传感器元件可用的偏置电压，而不需要采用高击穿电压半导体工艺。另外，基于许多因素的考虑，描述了在各种操作模式下对一个或多个偏置电压发生器的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 麦克风 偏置 电压 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)麦克风，其特征在于，所述微机电系统麦克风包含：MEMS麦克风元件，包含设置在麦克风封装中的振膜和背板；设置在麦克风封装中的专用集成电路(ASIC)，包括第一偏置电压发生器和第二偏置电压发生器，其中第一偏置电压发生器可操作地耦合到振膜并且被配置为向振膜提供第一偏置电压并且第二偏置电压发生器可操作地耦合到背板并且被配置为向背板提供第二偏置电压，并且其中第二偏置电压具有与第一偏置电压相反的极性。
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