[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201780025581.6 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109075764B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 川崎健太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朴云龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提高生产率且能够减小插入损耗的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；第一IDT电极(4A)～第三IDT电极(4C)，设置在压电基板(2)上；以及电介质膜(5)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖第一IDT电极(4A)～第三IDT电极(4C)，且覆盖第一IDT电极(4A)的第一区域(A)的厚度与覆盖第二IDT电极(4B)以及第三IDT电极(4C)的第二区域(B)、第三区域(C)的厚度不同。构成包含第一IDT电极(4A)～第三IDT电极(4C)以及电介质膜(5)的第一弹性波滤波器(3A)～第三弹性波滤波器(3C)(第一弹性波元件～第三弹性波元件)。将如下的厚度设为密度换算厚度，该厚度为将分别构成第一IDT电极(4A)～第三IDT电极(4C)的材料的密度全部设为相同的密度而进行换算的厚度，此时，第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度相等，第三IDT电极(4C)的密度换算厚度与第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度不同。 | ||
| 搜索关键词： | 换算 弹性波装置 压电基板 弹性波滤波器 弹性波元件 电介质膜 覆盖 插入损耗 第二区域 第一区域 厚度相等 减小 制造 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：压电基板；第一IDT电极至第三IDT电极，设置在所述压电基板上；以及电介质膜，设置在所述压电基板上，使得覆盖所述第一IDT电极至所述第三IDT电极，且覆盖所述第一IDT电极的区域的厚度与覆盖所述第二IDT电极以及所述第三IDT电极的区域的厚度不同，构成有包含所述第一IDT电极至所述第三IDT电极以及所述电介质膜的第一弹性波元件至第三弹性波元件，将如下的厚度设为密度换算厚度，该厚度为将分别构成所述第一IDT电极至所述第三IDT电极的材料的密度全部设为相同的密度而进行换算的厚度，此时，所述第一IDT电极、所述第二IDT电极的所述密度换算厚度相等，所述第三IDT电极的所述密度换算厚度与所述第一IDT电极、所述第二IDT电极的所述密度换算厚度不同。
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