[发明专利]弹性波装置及其制造方法有效
申请号: | 201780025581.6 | 申请日: | 2017-02-28 |
公开(公告)号: | CN109075764B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 川崎健太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H3/08;H03H9/25;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 换算 弹性波装置 压电基板 弹性波滤波器 弹性波元件 电介质膜 覆盖 插入损耗 第二区域 第一区域 厚度相等 减小 制造 | ||
本发明提供一种能够提高生产率且能够减小插入损耗的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2);第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C),设置在压电基板(2)上;以及电介质膜(5),设置在压电基板(2)上,使得覆盖第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C),且覆盖第一IDT电极(4A)的第一区域(A)的厚度与覆盖第二IDT电极(4B)以及第三IDT电极(4C)的第二区域(B)、第三区域(C)的厚度不同。构成包含第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C)以及电介质膜(5)的第一弹性波滤波器(3A)~第三弹性波滤波器(3C)(第一弹性波元件~第三弹性波元件)。将如下的厚度设为密度换算厚度,该厚度为将分别构成第一IDT电极(4A)~第三IDT电极(4C)的材料的密度全部设为相同的密度而进行换算的厚度,此时,第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度相等,第三IDT电极(4C)的密度换算厚度与第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的密度换算厚度不同。
技术领域
本发明涉及弹性波装置及其制造方法。
背景技术
以往,弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如,在下述的专利文献1中,公开了一种弹性波装置,其具有在相同的压电基板构成的两个弹性波滤波器。两个弹性波滤波器具有设置为覆盖各个IDT电极的绝缘膜。一个弹性波滤波器的IDT电极的膜厚以及绝缘膜的膜厚比另一个弹性波滤波器的IDT电极的膜厚以及绝缘膜的膜厚厚。通过对IDT电极的膜厚以及绝缘膜的膜厚进行优化,从而能够减小弹性波滤波器的插入损耗。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2000-341068号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1中,为了使两个弹性波滤波器中的一个弹性波滤波器的IDT电极以及绝缘膜与另一个弹性波滤波器的IDT电极以及绝缘膜的膜厚不同,各个IDT电极在不同的工序中形成。同样地,在制作了具有三个弹性波滤波器的弹性波装置的情况下,通过使三个弹性波滤波器的IDT电极以及绝缘膜的膜厚不同,从而能够减小各弹性波滤波器的插入损耗。然而,在该方法中,需要进行三次形成IDT电极的工序,因此不能充分提高生产率。
本发明的目的在于,提供一种能够提高生产率且能够减小插入损耗的弹性波装置及其制造方法。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置具备:压电基板;第一IDT电极~第三IDT电极,设置在所述压电基板上;以及电介质膜,设置在所述压电基板上,使得覆盖所述第一IDT电极~所述第三IDT电极,且覆盖所述第一IDT电极的区域的厚度与覆盖所述第二IDT电极以及所述第三IDT电极的区域的厚度不同,构成有包含所述第一IDT电极~所述第三IDT电极以及所述电介质膜的第一弹性波元件~第三弹性波元件,将如下的厚度设为密度换算厚度,该厚度为将分别构成所述第一IDT电极~所述第三IDT电极的材料的密度全部设为相同的密度而进行换算的厚度,此时,所述第一IDT电极、所述第二IDT电极的所述密度换算厚度相等,所述第三IDT电极的所述密度换算厚度与所述第一IDT电极、所述第二IDT电极的所述密度换算厚度不同。
在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方面中,所述第一IDT电极~所述第三IDT电极的电极指间距相互不同。
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