[发明专利]研磨材有效
申请号: | 201780019442.2 | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN108883518B | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 高木大辅;岩永友树;西藤和夫;田浦歳和 | 申请(专利权)人: | 阪东化学株式会社 |
主分类号: | B24D3/00 | 分类号: | B24D3/00;B24D11/00 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 日本兵库县神户市*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种历经比较长的时间而研磨速率难以下降的研磨材。本发明为包括基材片及层叠于所述基材片的表面侧且包含研磨粒及其粘合剂的研磨层的研磨材,其中,所述研磨层具有多种研磨粒,所述多种研磨粒中,在将平均粒径最大的研磨粒设为第1研磨粒及将平均粒径第二大的研磨粒设为第2研磨粒的情况下,第2研磨粒的平均粒径相对于第1研磨粒的平均粒径的比为5%以上70%以下。所述研磨层中的所述研磨粒的总含量优选为50体积%以上85体积%以下。所述研磨层中的所述第1研磨粒的含量优选为1体积%以上25体积%以下。优选为所述第1研磨粒为金刚石研磨粒,所述第2研磨粒为氧化铝研磨粒。 | ||
搜索关键词: | 研磨粒 平均粒径 研磨层 研磨材 优选 基材片 金刚石 粘合剂 研磨 氧化铝 | ||
【主权项】:
1.一种研磨材,其包括基材片、以及层叠于所述基材片的表面侧且包含研磨粒及其粘合剂的研磨层,所述研磨材的特征在于:/n所述基材片具有可挠性,/n所述研磨层具有多种研磨粒,/n所述多种研磨粒中,在将平均粒径最大的研磨粒设为第1研磨粒、以及将平均粒径第二大的研磨粒设为第2研磨粒的情况下,第2研磨粒的平均粒径相对于第1研磨粒的平均粒径的比为5%以上、70%以下,/n所述第1研磨粒的平均粒径为2μm以上、45μm以下,/n所述第2研磨粒的平均粒径为1μm以上、20μm以下,/n所述第1研磨粒为金刚石研磨粒,且所述第2研磨粒为氧化铝研磨粒,/n其中所述研磨层中的所述第1研磨粒的含量为1体积%以上、25体积%以下。/n
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