[发明专利]研磨材

权利要求书

1.一种研磨材，其包括基材片、以及层叠于所述基材片的表面侧且包含研磨粒及其粘合剂的研磨层，所述研磨材的特征在于：

所述基材片具有可挠性，

所述研磨层具有多种研磨粒，

所述多种研磨粒中，在将平均粒径最大的研磨粒设为第1研磨粒、以及将平均粒径第二大的研磨粒设为第2研磨粒的情况下，第2研磨粒的平均粒径相对于第1研磨粒的平均粒径的比为5％以上、70％以下，

所述第1研磨粒的平均粒径为2μm以上、45μm以下，

所述第2研磨粒的平均粒径为1μm以上、20μm以下，

所述第1研磨粒为金刚石研磨粒，且所述第2研磨粒为氧化铝研磨粒，

其中所述研磨层中的所述第1研磨粒的含量为1体积％以上、25体积％以下。

2.根据权利要求1所述的研磨材，其中所述研磨层中的所述研磨粒的总含量为50体积％以上、85体积％以下。

3.根据权利要求1所述的研磨材，其中所述研磨层中的所述第1研磨粒除外的研磨粒的含量为30体积％以上、80体积％以下。

4.根据权利要求1所述的研磨材，其中所述粘合剂的主成分为聚丙烯酸、环氧、聚酯以及聚氨基甲酸酯中的任意一种。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的研磨材，其中所述多种研磨粒含有第3研磨粒，所述第3研磨粒的平均粒径相对于所述第2研磨粒的平均粒径的比为1％以上、75％以下。

6.根据权利要求5所述的研磨材，其中所述第3研磨粒的平均粒径为0.01μm以上、2μm以下。

7.根据权利要求5所述的研磨材，其中所述研磨层中的所述第3研磨粒的含量为1体积％以上、20体积％以下。