[发明专利]用于制造场效应晶体管的方法

摘要

提供了一种用于制造场效应晶体管的方法，所述场效应晶体管具有在所述第一氧化物层和第二氧化物层彼此相邻的区域中的前沟道或后沟道，所述方法包括：氧化物层形成步骤，用于形成是第二氧化物层的前体的第二前体层，以便与是第一氧化物层的前体的第一前体层相邻，然后将所述第一前体层和第二前体层分别转换为所述第一氧化物层和第二氧化物层，其中所述氧化物层形成步骤包括如下限定的处理(I)和(II)中的至少一个：(I)处理：用于涂覆能够形成第一氧化物前体并含有溶剂的涂布液；然后除去溶剂，由此形成第一前体层；和(II)处理：用于涂覆能够形成第二氧化物前体并含有溶剂的涂布液；除去溶剂，由此形成第二前体层。

主权项

1.一种用于制造场效应晶体管的方法，所述场效应晶体管包括第一氧化物层和第二氧化物层并在所述第一氧化物层和第二氧化物层彼此相邻的区域中形成前沟道或后沟道，所述方法包括：形成是第二氧化物层的前体的第二前体层，以便与是第一氧化物层的前体的第一前体层接触，然后将所述第一前体层和第二前体层分别转换为所述第一氧化物层和第二氧化物层，形成包括以下处理(I)和(II)中的至少一个：(I)处理：涂覆第一氧化物前体形成涂布液，该第一氧化物前体形成涂布液能够形成第一氧化物的前体并含有溶剂；然后除去溶剂以形成是第一氧化物层的前体的第一前体层；和(II)处理：涂覆第二氧化物前体形成涂布液，该第二氧化物前体形成涂布液能够形成第二氧化物的前体并含有溶剂；然后除去溶剂以形成是第二氧化物层的前体的第二前体层。