[发明专利]固态成像元件及其制造方法和电子设备有效

专利信息
申请号: 201780013846.0 申请日: 2017-03-01
公开(公告)号: CN108701705B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 村田贤一 申请(专利权)人: 索尼公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L27/14;H04N5/357;H04N5/369;H04N5/374
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 梁兴龙;曹正建
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本技术涉及能够进一步抑制上部电极中产生的膜应力对光电转换膜的影响的固态成像元件、固态成像元件的制造方法和电子设备。所述固态成像元件设有形成在半导体基板的上侧的光电转换膜和相对于所述半导体基板形成在高于所述光电转换膜的位置处的至少两层遮光膜。例如,本技术可以适用于固态成像元件和电子设备等。
搜索关键词: 固态 成像 元件 及其 制造 方法 电子设备
【主权项】:
1.一种固态成像元件,包括:形成在半导体基板的上侧的光电转换膜;和相对于所述半导体基板形成在高于所述光电转换膜的位置处的至少两层遮光膜。
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