[发明专利]真空系统和用于在基板上沉积多个材料的方法在审
| 申请号： | 201780011610.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN109154063A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海姆尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于在基板上沉积多个材料的真空系统(100)。真空系统包括多个沉积模块(110)，多个沉积模块(110)沿着主传送方向(P)布置并且包括沉积源(105)，沉积源(105)在主传送方向(P)中是可移动的；和传送系统，具有多个轨道(120)，多个轨道于主传送方向(P)中延伸通过多个沉积模块并且包括用于掩模传送的第一掩模轨道(121)、用于基板传送的第一基板轨道(122)和用于返回空的载体的返回轨道(123)。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 真空系统 主传送 轨道 沉积源 基板 传送系统 第一基板 返回轨道 方法描述 基板传送 掩模传送 可移动 掩模 返回 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板(10)上沉积多个材料的真空系统(100)，包括：多个沉积模块(110)，沿着主传送方向(P)布置并且包括沉积源(105)，所述沉积源(105)在所述主传送方向(P)中是可移动的；和传送系统，具有多个轨道(120)，所述多个轨道(120)在所述主传送方向(P)中延伸通过所述多个沉积模块(110)并且包括第一掩模轨道(121)、第一基板轨道(122)和返回轨道(123)，所述第一掩模轨道(121)用于掩模传送，所述第一基板轨道(122)用于基板传送，所述返回轨道(123)用于返回空的载体。
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