[实用新型]一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置有效
| 申请号： | 201721904279.1 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207685343U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;程晓鹏;桑利军;唐亮 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 100020 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置，包括载气系统、前驱体系统、反应系统和控制系统；所述反应系统通过管路分别与载气系统和前驱体系统连接，所述反应系统上设置有进样仓，所述管路上设置有阀门；所述载气系统用于填充惰性气体，所述控制系统控制所述载气系统、前驱体系统和反应系统的开闭。本实用新型提供的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，使得到的涂层的均匀性、阶梯覆盖率以及厚度控制等方面都具有明显的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 反应系统 蜂窝状载体 表面原子 涂层装置 前驱体 本实用新型 控制系统 载气系统 气系统 阶梯覆盖率 惰性气体 厚度控制 系统连接 进样仓 均匀性 阀门 开闭 填充 | ||
【主权项】：
1.一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：包括载气系统、前驱体系统、反应系统和控制系统；所述反应系统通过管路分别与载气系统和前驱体系统连接，所述反应系统上设置有进样仓，所述管路上设置有阀门；所述载气系统用于填充惰性气体，所述控制系统控制所述载气系统、前驱体系统和反应系统的开闭。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
