[实用新型]一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置

权利要求书

1.一种蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：包括载气系统、前驱体系统、反应系统和控制系统；所述反应系统通过管路分别与载气系统和前驱体系统连接，所述反应系统上设置有进样仓，所述管路上设置有阀门；所述载气系统用于填充惰性气体，所述控制系统控制所述载气系统、前驱体系统和反应系统的开闭。

2.根据权利要求1所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述反应系统包括真空反应腔，所述真空反应腔通过管路分别与载气系统和前驱体系统连接，所述进样仓设置于所述真空反应腔上；所述真空反应腔外设置有加热炉，所述真空反应腔连接有真空泵，所述真空反应腔侧壁上开设有放气口，所述放气口处安装有手动放气阀。

3.根据权利要求2所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述载气系统与所述真空反应腔之间的管路上安装有质量流量控制器，所述质量流量控制器与所述控制系统通过管路连接；所述前驱体系统与所述真空反应腔的连接端位于所述质量流量控制器与所述真空反应腔之间的管路上；所述质量流量控制器、前驱体系统和真空反应腔连接交汇处设置有三通气动阀。

4.根据权利要求3所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述前驱体系统包括前驱体源瓶，所述质量流量控制器与所述前驱体源瓶通过管路连接；所述前驱体源瓶、质量流量控制器和真空反应腔通过三通气动阀连接。

5.根据权利要求4所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述前驱体源瓶包括并列设置且分别通过管路与所述真空反应腔连接的第一前驱体源瓶、第二前驱体源瓶、第三前驱体源瓶和第四前驱体源瓶，所述第一前驱体源瓶、第二前驱体源瓶、第三前驱体源瓶和第四前驱体源瓶开口处分别设置有源瓶手动阀。

6.根据权利要求5所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述质量流量控制器包括并列设置且分别与所述第一前驱体源瓶、第二前驱体源瓶、第三前驱体源瓶和第四前驱体源瓶相对应的第一质量流量控制器、第二质量流量控制器、第三质量流量控制器和第四质量流量控制器；所述第一质量流量控制器、第二质量流量控制器、第三质量流量控制器和第四质量流量控制器分别通过管路与所述真空反应腔连接。

7.根据权利要求6所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述加热炉为管式加热炉，所述管式加热炉内径为100-200mm。

8.根据权利要求7所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述真空泵为真空机械泵，所述真空机械泵的抽速为5L/S-100L/S。

9.根据权利要求8所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述载气系统包括惰性气体钢瓶，所述惰性气体钢瓶出口端安装有钢瓶手动阀，所述惰性气体钢瓶通过管路分别与所述第一质量流量控制器、第二质量流量控制器、第三质量流量控制器和第四质量流量控制器连接。

10.根据权利要求9所述的蜂窝状载体表面原子层涂层装置，其特征在于：所述真空反应腔连接有励磁线圈和射频电源。