[实用新型]带水冷的旋转下降装置及具有该装置的晶体生长装置有效
申请号: | 201721850789.5 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207811926U | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 沈彭平;柯金伟;任雄 | 申请(专利权)人: | 上海煜志机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人: | 于晓菁 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型技术方案公开了一种带水冷的旋转下降装置,包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件,所述水冷杆的一端固定于所述升降装置,另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件,所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连,所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动,所述旋转装置与所述水冷杆相连,所述水冷杆内设有进水管道,所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。本实用新型技术方案具有密封性能良好、晶体生长速率高、制备的晶体均匀性较好、结构简单、易于操作等优点,具有较高的应用价值。 | ||
搜索关键词: | 水冷杆 升降装置 线性导轨 真空加热装置 支架 线性导轨滑块 本实用新型 下降装置 旋转装置 水冷 晶体生长装置 冷却水出口 进水管道 晶体生长 密封性能 上下滑动 均匀性 侧壁 伸入 制备 支撑 应用 | ||
【主权项】:
1.一种带水冷的旋转下降装置,其特征在于,包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件,所述水冷杆的一端固定于所述升降装置,另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件,所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连,所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动,所述旋转装置与所述水冷杆相连,所述水冷杆内设有进水管道,所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海煜志机电设备有限公司,未经上海煜志机电设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721850789.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种真空坩埚旋转下降法晶体生长炉
- 下一篇:设置中间反射层的单晶炉