[实用新型]带水冷的旋转下降装置及具有该装置的晶体生长装置

权利要求书

1.一种带水冷的旋转下降装置，其特征在于，包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件，所述水冷杆的一端固定于所述升降装置，另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件，所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连，所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动，所述旋转装置与所述水冷杆相连，所述水冷杆内设有进水管道，所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。

2.如权利要求1所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述升降装置包括带有丝杆螺母的滚珠丝杆升降机和连接安装板，所述滚珠丝杆升降机设于所述支架上，所述连接安装板连接所述线性导轨滑块与所述丝杆螺母。

3.如权利要求2所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述水冷杆上设有磁流体，所述磁流体连接所述连接安装板与所述水冷杆。

4.如权利要求1所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述旋转装置包括旋转电机与旋转传动装置，所述旋转电机通过所述旋转传动装置带动所述水冷杆旋转。

5.如权利要求4所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述旋转传动装置包括两个带轮与皮带，所述带轮一个设于所述旋转电机的电机轴上，另一个设于所述水冷杆上，所述皮带环绕两个带轮。

6.如权利要求1所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述水冷杆外套设有用于密封的波纹管。

7.如权利要求1所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述冷却水出口采用旋转接头。

8.一种晶体生长装置，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的带水冷的旋转下降装置。