[实用新型]设置中间反射层的单晶炉

摘要

一种设置中间反射层的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层、中间反射层，所述中间反射层设置在加热器与保温层之间，中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面，以对加热器散发的热量进行反射，中间反射层的顶部高于加热器的顶部，中间反射层的底部低于加热器的底部，以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失，中间反射层为中钼筒，本实用新型中，采用中间反射层将加热器与保温层隔离，不仅将大量的热量反射至坩埚内，热量使用充分，而且避免了保温层挥发物对晶棒及加热器的影响。

主权项

1.一种设置中间反射层的单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热屏组件包括内导流筒、外导流筒、保温填充层、支撑环、压环，内导流筒为上口大、下口小的锥形筒，外导流筒为圆柱形筒，外导流筒的顶部向外翻折形成外檐，外导流筒的底部向内翻折形成内缘，内导流筒的底部卡合在外导流筒的内缘上，保温填充层填充在内导流筒和外导流筒之间，在外导流筒的外檐上方也填充保温填充层，外檐上方的保温填充层与中炉筒内的上保温层连接，压环为环形板，压环压在外檐上方的保温填充层上，压环的内沿与内导流筒的上口接触，压环的外沿与外导流筒的外檐的边缘对齐，支撑环为环形板，支撑环设置在外导流筒的外檐的下方，支撑环的边缘与中炉筒的内部固定连接，以安放热屏组件，内导流筒、外导流筒、支撑环、压环同轴设置，所述热场还包括中间反射层，所述中间反射层设置在加热器与保温层之间，中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面，以对加热器散发的热量进行反射，中间反射层的顶部高于加热器的顶部，中间反射层的底部低于加热器的底部，以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失，中间反射层为中钼筒。