[实用新型]沉积金刚石涂层的装置有效
| 申请号： | 201721839690.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207775347U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;黄磊;王陶;杨扬 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/458 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种沉积金刚石涂层的装置。本实用新型沉积金刚石涂层的装置包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。当将待生长金刚石涂层的模具夹设在所述装置的夹具所含夹持部后，在所述传动杆驱动下，所述模具能够发生360度的旋转，从而能够方便控制所述模具特别是大尺寸复杂模具的转动，从而实现在所述模具表面形成生长均匀的金刚石涂层，特别是能够使得拉丝模具的微孔内表面上生长均匀的金刚石涂层，而且提高了金刚石涂层与模具结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石涂层 夹持部 沉积金刚石涂层 夹具 传动杆 模具 本实用新型 从动轮 样品台 生长 转动 驱动 复杂模具 拉丝模具 模具表面 真空腔室 模具夹 内表面 真空腔 微孔 室内 | ||
【主权项】：
1.一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
