[实用新型]沉积金刚石涂层的装置

权利要求书

1.一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述样品台还包括若干热交换器件，每一所述热交换器件具有两端开口的通管状腔体，每一所述夹具的所述夹持部设置在所述通管状腔体内。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述样品台还包括若干热交换器件，每一所述热交换器件具有两端开口的通管状腔体，每一对所述夹具的所述夹持部设置在所述通管状腔体内，且一对所述夹持部是相对设置。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于：所述热交换器件为双层通管，所述夹持部设置在所述双层通管的管腔内，在所述双层通管的双层管壁之间填充有热量吸收剂，且若干所述热交换器件所含的所述热量吸收剂通过管道连通。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述管道的一端连接有用于所述热量吸收剂流入所述热交换器件内的热量吸收剂循环支架管，所述管道的一端连接有用于所述热量吸收剂流出的另一热量吸收剂循环支架管。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述传动杆为双向齿条，所述从动轮与所述双向齿条啮合。

7.根据权利要求1-3、5-6任一项所述的装置，其特征在于：还包括承载台，所述承载台包括动力驱动系统和动力输出连杆，所述动力驱动系统驱动所述动力输出连杆旋转，所述动力输出连杆驱动所述传动杆连移动或旋转。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：所述动力输出连杆上设有螺纹，所述传动杆上设有连接齿轮，且所述连接齿轮与所述动力输出连杆上设的所述螺纹啮合。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：所述承载台设置在所述样品台的下方，且所述承载台还包括升降部件，所述升降部件控制所述承载台的升降。