[实用新型]改进型单晶硅切片机用切片机构有效
申请号: | 201721808526.8 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN207669544U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 胡平忠 | 申请(专利权)人: | 扬州宏祥光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种改进型单晶硅切片机用切片机构,属于硅切片生产用设备技术领域。包括导线轮、金刚线、升降台、粘棒工装及晶棒,导线轮内设有冷却通道,冷却通道的一端连接有冷却液进口,另一端连接有冷却液出口,升降台设置在金刚线的上方,升降台的下方连接有粘棒工装,粘棒工装的下端连接有树脂板甲,树脂板甲的下表面粘接有晶棒,晶棒的下表面粘接有树脂板乙。本实用新型结构稳定,利用凹凸锁定结构将粘棒工装可靠的定位在升降台下方,防止在切片过程中粘棒工装发生活动;导线轮的内部设有冷却通道,确保导线轮在高温下正常运转不变形,切片机构加工精度高;粘棒工装的固定位置可通过垫片的增减进行微调,切片机构的可调性好。 | ||
搜索关键词: | 工装 粘棒 升降台 切片机构 导线轮 冷却通道 树脂板 晶棒 单晶硅 本实用新型 一端连接 改进型 金刚线 切片机 下表面 切片 粘接 设备技术领域 冷却液出口 冷却液进口 结构稳定 不变形 可调性 垫片 微调 下端 锁定 加工 生产 | ||
【主权项】:
1.一种改进型单晶硅切片机用切片机构,其特征在于:包括导线轮(1)、金刚线(2)、升降台(6)、粘棒工装(7)及晶棒(11),所述金刚线(2)绕设在所述导线轮(1)上,所述导线轮(1)内设有冷却通道(3),所述冷却通道(3)的一端连接有冷却液进口(4),另一端连接有冷却液出口(5),所述升降台(6)设置在所述金刚线(2)的上方,所述升降台(6)的下方连接有粘棒工装(7),所述粘棒工装(7)的上端设有凹槽,所述粘棒工装(7)的上端包覆在所述升降台(6)的下端外圈,锁紧螺母(8)穿过粘棒工装(7)及升降台(6)的重叠部将粘棒工装(7)与升降台(6)固定连接,所述粘棒工装(7)的下端连接有树脂板甲(10),所述树脂板甲(10)的下表面粘接有晶棒(11),所述晶棒(11)的下表面粘接有树脂板乙(12)。
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