[实用新型]用于搬运晶片衬底的机器人手指及末端执行器

摘要

本实用新型公开了一种用于搬运晶片衬底的机器人手指及末端执行器，其中机器人手指包括长柄部和指部，还包括多个吸附孔和弹性密封件；吸附孔设置在指部的尖端、以及指部靠近长柄部处，且吸附孔通过机器人手指内的内部气道与长柄部上的真空导入孔连通；指部设有环绕吸附孔的容置槽；弹性密封件嵌入在容置槽内。本实用新型实现了对晶片衬底等具有一定形变的物体的多点且严密地吸附，从而可以提高吸附可靠性，确保不会发生掉片事故。本实用新型还保护了一种应用上述机器人手指的末端执行器。

主权项

1.一种用于搬运晶片衬底的机器人手指，包括长柄部和指部，其特征在于，还包括多个吸附孔和弹性密封件；所述吸附孔设置在所述指部上，且所述吸附孔通过所述机器人手指内的内部气道与所述长柄部上的真空导入孔连通；所述指部设有环绕所述吸附孔的容置槽；所述弹性密封件嵌入在所述容置槽内。