[实用新型]静电放电防止装置有效
| 申请号： | 201721773835.6 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN207603975U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王艳军 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种静电放电防止装置。该静电放电防止装置包括用于承载基板的基台，静电放电防止装置还包括：一个或多个相互隔离的支撑件，支撑件贯穿基台设置，用于支撑基板并将基板与基台分离，且至少一个支撑件具有沿其延伸方向设置的通气孔；除静电器，用于提供电离气体，除静电器具有第一电离气体出口，第一电离气体出口与通气孔连通，且通气孔容许电离气体逸出并对基板的下表面进行除静电。由于基板在与基板分离瞬间产生的静电极易导致基板上的敏感元件可以瞬间电击穿报废，而采用本申请的上述静电放电防止装置，能够在基板与基台将要分离时使电离气体扩散至基板的表面，从而从根源解决静电放电的产生，提高了静电的去除效果。 | ||
| 搜索关键词： | 静电放电防止装置 基板 基台 电离气体 通气孔 支撑件 电离气体出口 除静电 本实用新型 承载基板 除静电器 方向设置 基板分离 静电放电 敏感元件 支撑基板 静电 对基板 静电极 下表面 击穿 去除 逸出 连通 报废 隔离 扩散 贯穿 延伸 申请 | ||
【主权项】：
1.一种静电放电防止装置，包括用于承载基板(40)的基台(10)，其特征在于，所述静电放电防止装置还包括：一个或多个相互隔离的支撑件(20)，所述支撑件(20)贯穿所述基台(10)设置，用于支撑所述基板(40)并将所述基板(40)与所述基台(10)分离，且至少一个所述支撑件(20)具有沿其延伸方向设置的通气孔；除静电器(30)，用于提供电离气体，所述除静电器(30)具有第一电离气体出口(310)，所述第一电离气体出口(310)与所述通气孔连通，且所述通气孔容许所述电离气体逸出并对所述基板(40)的下表面进行除静电。
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