[实用新型]一种渐进多焦点镜片像差测量装置有效
申请号: | 201721669484.4 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN207439643U | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 冯泽华 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种渐进多焦点镜片像差测量装置,包括:波长可变激光传感器、衰减镜片、准直镜、可调焦扩束系统、渐进多焦点镜片、缩束镜片和哈特曼‑夏克波前传感器,波长可变激光传感器发射的激光光束经过衰减镜片、准直镜衰减准直后入射可调焦扩束系统,可调焦扩束系统对激光光束扩束后覆盖整片渐进多焦点镜片,透射渐进多焦点镜片后的光束再经过缩束镜片入射哈特曼‑夏克波前传感器,哈特曼‑夏克波前传感器测量得到渐进多焦点镜片的像差信息。本实用新型能够实现较少次数测量既能得到整片渐进多焦点镜片像差的功能,具有结构简单、操作简便、数据处理量小等优点。 | ||
搜索关键词: | 渐进多焦点镜片 镜片 波前传感器 扩束系统 哈特曼 调焦 衰减 像差测量装置 本实用新型 激光传感器 波长可变 激光光束 准直镜 入射 整片 数据处理量 次数测量 像差信息 扩束 透射 像差 测量 发射 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种渐进多焦点镜片像差测量装置,其特征在于:包括波长可变激光传感器(1)、衰减镜片(2)、准直镜(3)、可调焦扩束系统、渐进多焦点镜片(4)、缩束镜片(6)和哈特曼-夏克波前传感器(7),波长可变激光传感器(1)发射的激光光束经过衰减镜片(2)、准直镜(3)衰减准直后入射可调焦扩束系统,可调焦扩束系统对激光光束扩束后覆盖整片渐进多焦点镜片(4),透射渐进多焦点镜片(4)后的光束再经过缩束镜片(6)入射哈特曼-夏克波前传感器(7)。
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