[实用新型]一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器有效
| 申请号： | 201721659689.4 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN207908539U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘玲;马文英;蔡德卿;李亚喃;李诗语 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌;易小艺 |
| 地址： | 610225 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于加速度传感器技术领域，涉及了一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器其特征在于：包括硅衬底、一个四面带若干梳齿电极的固定支柱、四个一面带若干梳齿电极的质量块、四个悬臂梁、四个锚点，固定支柱与锚点设于硅衬底上，四个悬臂梁一端分别连接在四个锚点上，另一端分别连接在四个质量块上使其悬空；四个质量块分别等距离的置于中心固定支柱的前后左右四个方向，质量块的梳齿与固定支柱的梳齿交错放置并留有等距离的活动间隙。本实用新型中梳齿式的差分电容检测结构，可以更好的消除轴间耦合干扰，提高加速度传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 固定支柱 锚点 加速度传感器 本实用新型 梳齿电极 梳齿电容 硅衬底 悬臂梁 三轴 梳齿 差分电容 活动间隙 交错放置 中心固定 轴间耦合 梳齿式 面带 四面 悬空 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器，其特征在于：包括硅衬底、一个四面带若干梳齿电极的固定支柱、四个一面带若干梳齿电极的质量块、四个悬臂梁、四个锚点，固定支柱与锚点设于硅衬底上，四个悬臂梁一端分别连接在四个锚点上，另一端分别连接在四个质量块上使其悬空；四个质量块分别等距离的置于中心固定支柱的前后左右四个方向，质量块的梳齿与固定支柱的梳齿交错放置并留有等距离的活动间隙。
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