[实用新型]一种纳米材料制作设备有效
| 申请号： | 201721646230.0 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207552436U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种纳米材料制作设备，包括设备主体及泵，所述设备主体包括基座、位于基座中的油箱及沉淀箱、位于基座及沉淀箱上方的基材台、位于基材台顶部的出油口、位于基材台外部的靶座，以及设置于靶座上的磁控靶，所述油箱中盛有硅油，所述泵通过泵管与油箱及出油口连通。通过硅油带动纳米材料沿基材台的表面淌下，在沉淀箱中实现纳米材料的沉淀，可高效分离出纳米材料、扩展了用途。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米材料 基材 沉淀箱 油箱 设备主体 制作设备 出油口 靶座 硅油 高效分离 磁控靶 泵管 连通 沉淀 外部 | ||
【主权项】：
1.一种纳米材料制作设备，其特征在于：所述纳米材料制作设备包括设备主体及泵，所述设备主体包括基座、位于基座中的油箱及沉淀箱、位于基座及沉淀箱上方的基材台、位于基材台顶部的出油口、位于基材台外部的靶座，以及设置于靶座上的磁控靶，所述油箱中盛有硅油，所述泵通过泵管与油箱及出油口连通。
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