[实用新型]化学机械研磨系统的基板装载装置有效
| 申请号： | 201721600473.0 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207669081U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 辛炯焕 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学机械研磨系统的基板装载装置，基板装载装置包括：放置架，其用于放置基板；对齐部，其与卡圈的内面接触，并且使得卡圈相对于基板对齐至规定的对齐位置，从而可以获得以下有利效果：在将基板装载至载体头的过程中，没有基板的变形及损伤的状态下进行准确的装载。 | ||
| 搜索关键词： | 基板装载 化学机械研磨系统 基板 卡圈 本实用新型 对齐位置 基板对齐 内面接触 对齐 放置架 载体头 装载 变形 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨系统的基板装载装置，其作为在化学机械研磨工艺中用于将基板装载至载体头的基板装载装置，载体头包括膜和卡圈，膜与基板接触，卡圈配置于所述膜的周围，所述化学机械研磨系统的基板装载装置的特征在于，包括：放置架，其用于放置基板；对齐部，其与卡圈的内面接触，并且使得所述卡圈相对于所述基板对齐至规定的对齐位置。
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