[实用新型]管式化学气相沉积仪及其炉门装置

摘要

本实用新型公开一种管式化学气相沉积仪及其炉门装置，炉门装置包括第一位移机构、第二位移机构以及炉门本体。第一位移机构包括第一导引件及第一滑动件。第一导引件固定于炉管且位于管口一侧，且沿垂直于管口所在平面的第一水平方向延伸。第一滑动件滑动设于第一导引件且由第一驱动件驱动。第二位移机构包括第二导引件及第二滑动件。第二导引件固定于第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸。第二滑动件滑动设于第二导引件且由第二驱动件驱动。炉门本体通过炉门支架固定连接于第二滑动件，炉门本体为实心结构。

主权项

1.一种炉门装置，安装于管式化学气相沉积仪的炉管的管口处，其特征在于，所述炉门装置包括：第一位移机构，其包括：第一导引件，固定于所述炉管且位于所述管口的一侧，且沿垂直于所述管口所在平面的第一水平方向延伸；及第一滑动件，滑动设于所述第一导引件且由第一驱动件驱动；第二位移机构，其包括：第二导引件，固定于所述第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸；及第二滑动件，滑动设于所述第二导引件且由第二驱动件驱动；以及炉门本体，通过炉门支架固定连接于所述第二滑动件，所述炉门本体为实心结构；其中，所述炉门装置通过所述第二位移机构控制所述炉门本体在第二水平方向上移动，并通过所述第一位移机构控制所述炉门本体在第一水平方向上移动，从而控制所述炉门本体封闭或开启所述管口。