[实用新型]一种用于手工贴膜的装置

摘要

一种用于手工贴膜的装置，涉及晶片生产设备领域，包括底座、紫外线灯、托盘和UV膜卷轴，托盘和UV膜卷轴设置在底座上，待加工的晶圆安放在托盘上，UV膜卷轴在晶圆上滚动，从而将UV膜贴在晶圆上，所述的托盘底部的中央固定有螺柱，托盘通过螺柱安装在底座上的螺纹孔内，托盘的上侧设置有防止晶圆被刮伤的软垫，晶圆安放在软垫上，通过旋转托盘可对托盘的高度进行调整，从而使晶圆的上表面与底座的上表面平齐，底座的两侧设置有滑道，滑道上安装有滑动支架，滑动支架的两侧各设置有一个长方形开口，长方形开口内设置有可沿竖直方向滑动的滑块。本实用新型结构简单，操作方便、占用空间小，非常适合小批量的晶圆贴膜工作。

主权项

一种用于手工贴膜的装置，包括底座(1)、紫外线灯(3)、托盘(13)和UV膜卷轴(9)，托盘(13)和UV膜卷轴(9)设置在底座(1)上，待加工的晶圆(15)安放在托盘(13)上，UV膜卷轴(9)在晶圆(15)上滚动，从而将UV膜贴在晶圆(15)上，其特征在于：所述的托盘(13)底部的中央固定有螺柱(12)，托盘(13)通过螺柱(12)安装在底座(1)上的螺纹孔内，托盘(13)的上侧设置有防止晶圆(15)被刮伤的软垫(14)，晶圆(15)安放在软垫(14)上，通过旋转托盘(13)可对托盘(13)的高度进行调整，从而使晶圆(15)的上表面与底座(1)的上表面平齐，底座(1)的两侧设置有滑道(11)，滑道(11)上安装有滑动支架(7)，滑动支架(7)的两侧各设置有一个长方形开口，长方形开口内设置有可沿竖直方向滑动的滑块(10)，滑块(10)与长方形开口的上沿之间设置有弹簧(8)，所述的UV膜卷轴(9)的两端安装在所述的滑块(10)的中央，UV膜卷轴(9)的圆柱面在弹簧(8)的作用下与底座(1)的上表面贴合，底座(1)上表面的一侧固定设置有半包围结构的遮光罩(2)，遮光罩(2)的上端固定有紫外线灯(3)，紫外线灯(3)的下沿安装有遮光帘(5)，遮光帘(5)通过导轨(4)安装在紫外线灯(3)的下沿，遮光帘(5)与遮光罩(2)共同在紫外线灯(3)与晶圆(15)之间围成封闭的遮光结构。