[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统

摘要

本实用新型提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，将旋转架通过转盘密封转动安装在炉体底板上，利用炉体底板下方的外部驱动机构驱动转盘旋转，并在旋转架与转盘之间形成一非真空腔室，转动轴密封转动水平穿出非真空腔室，另一驱动机构设置在非真空腔室内，驱动转动轴旋转，并通过转动轴将动力传递到真空区，然后通过传动机构带动升降台沿旋转架作升降运动。本实用新型驱动系统，可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递，从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件，在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动，且旋转运动和升降运动由两套独立的驱动机构分别控制，从而实现调速方便。

主权项

1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，其特征在于，包括炉体底板、旋转架、升降台、转盘、转动轴、驱动机构和传动机构；所述炉体底板用于构成所述镀膜机真空镀室的底盘，其水平设置，上侧为炉体内侧，下侧为炉体外侧，所述旋转架为一竖立支架，所述升降台安装在所述旋转架上，可沿所述旋转架上升和下降，所述旋转架通过所述转盘固定在所述转动轴上，所述转动轴则旋转密封地安装在所述炉体底板中央并由炉体内侧穿出到炉体外侧，所述驱动机构和传动机构包括位于炉外的第一驱动机构和第一传动机构，所述第一驱动机构通过所述第一传动机构与所述转动轴的穿出端相连，由第一驱动机构通过驱动所述转动轴转动从而带动所述旋转架旋转，从而使所述旋转架上的所述升降台完成第一个维度的旋转运动，所述旋转架与所述转盘之间形成有一个与炉内真空环境隔绝，而与炉外连通的非真空腔室，称为旋转架大气传动舱，所述驱动机构还包括第二驱动机构，所述传动机构还包括第二传动机构、升降台传动轴以及第三传动机构，所述第二驱动机构安装在所述旋转架大气传动舱中，所述升降台传动轴旋转密封地安装在所述旋转架大气传动舱的侧壁上，且两端水平穿出，所述第二驱动机构通过所述第二传动机构与所述升降台传动轴相连，驱动所述升降台传动轴旋转，所述升降台传动轴跨越非真空区到真空区，将所述第二驱动机构的动力传递到真空区，所述升降台传动轴的两端分别通过所述第三传动机构与所述升降台的两侧相连，所述升降台传动轴通过所述第三传动机构带动所述升降台沿所述旋转架运动，从而使所述升降台完成第二个维度的升降运动。