[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统

权利要求书

1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，其特征在于，包括炉体底板、旋转架、升降台、转盘、转动轴、驱动机构和传动机构；

所述炉体底板用于构成所述镀膜机真空镀室的底盘，其水平设置，上侧为炉体内侧，下侧为炉体外侧，所述旋转架为一竖立支架，所述升降台安装在所述旋转架上，可沿所述旋转架上升和下降，所述旋转架通过所述转盘固定在所述转动轴上，所述转动轴则旋转密封地安装在所述炉体底板中央并由炉体内侧穿出到炉体外侧，所述驱动机构和传动机构包括位于炉外的第一驱动机构和第一传动机构，所述第一驱动机构通过所述第一传动机构与所述转动轴的穿出端相连，由第一驱动机构通过驱动所述转动轴转动从而带动所述旋转架旋转，从而使所述旋转架上的所述升降台完成第一个维度的旋转运动，所述旋转架与所述转盘之间形成有一个与炉内真空环境隔绝，而与炉外连通的非真空腔室，称为旋转架大气传动舱，所述驱动机构还包括第二驱动机构，所述传动机构还包括第二传动机构、升降台传动轴以及第三传动机构，所述第二驱动机构安装在所述旋转架大气传动舱中，所述升降台传动轴旋转密封地安装在所述旋转架大气传动舱的侧壁上，且两端水平穿出，所述第二驱动机构通过所述第二传动机构与所述升降台传动轴相连，驱动所述升降台传动轴旋转，所述升降台传动轴跨越非真空区到真空区，将所述第二驱动机构的动力传递到真空区，所述升降台传动轴的两端分别通过所述第三传动机构与所述升降台的两侧相连，所述升降台传动轴通过所述第三传动机构带动所述升降台沿所述旋转架运动，从而使所述升降台完成第二个维度的升降运动。

2.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，所述驱动系统还包括限位器，所述限位器安装在所述旋转架的顶部，其用于与活动安装在所述升降台上的电弧源组件配合，以使所述电弧源组件实现抬头运动：当所述升降台作上升运动，靠近所述旋转架顶部时，所述限位器与所述升降台上电弧源组件的尾端接触，下压所述电弧源组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述电弧源组件的前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，以便与所述大型罐体的弧形封顶盖相对。

3.根据权利要求2所述的驱动系统，其特征在于，所述转动轴为一筒状空心轴，所述旋转架大气传动舱通过空心的所述转动轴与炉外连通。

4.根据权利要求3所述的驱动系统，其特征在于，所述转动轴上端封闭，侧壁连通至少一个引管；所述旋转架大气传动舱与所述炉体底板之间具有一定间隙，该间隙通过所述旋转架侧壁上的镂空区域与炉内的真空区连通，所述旋转架大气传动舱通过波纹管与所述转动轴的引管连通，从而通过所述转动轴与炉外连通，备用的所述引管则通过法兰板封闭。

5.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，所述第一驱动机构驱动所述转动轴作360度的正反转运动，即旋转360度后即反转复位。

6.根据权利要求5所述的驱动系统，其特征在于，转动轴360度的正反转运动方式通过光电传感器组件控制，所述光电传感器组件包括传感器和反射板，所述传感器固定在所述转动轴外围，静止不动，且位于炉外，所述反射板则固定在所述转动轴上，所述转动轴转动时，所述反射板随其转动，每转动一圈对所述传感器发出的信号反射一次，以便提示所述镀膜机下一步该进行的动作。

7.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，所述转盘与其下方的所述炉体底板之间具有如下连接结构：所述转盘的内圈均布有若干个平面推力球轴承，所述转盘的外圈均布有若干个深沟球轴承，所述转盘通过所述平面推力球轴承和所述深沟球轴承由所述炉体底板支承，所述转盘的上平面外圆边沿上，还均布有若干个用于转盘的上平面限位的靠位压轮，所述靠位压轮也安装在所述炉体底板上。

8.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，所述第三传动机构为链轮传动机构，所述升降台的两侧分别通过一套双排链条的链轮传动机构拉动而实现升降运动，所述升降台上安装有两套导向滑轮组件，两套所述导向滑轮组件中的滑轮，分别抵靠着，所述旋转架上的一竖立工字型钢的两个互相垂直的侧壁。