[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统

说明书

本实用新型提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，将旋转架通过转盘密封转动安装在炉体底板上，利用炉体底板下方的外部驱动机构驱动转盘旋转，并在旋转架与转盘之间形成一非真空腔室，转动轴密封转动水平穿出非真空腔室，另一驱动机构设置在非真空腔室内，驱动转动轴旋转，并通过转动轴将动力传递到真空区，然后通过传动机构带动升降台沿旋转架作升降运动。本实用新型驱动系统，可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递，从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件，在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动，且旋转运动和升降运动由两套独立的驱动机构分别控制，从而实现调速方便。

技术领域

本实用新型涉及用于大型罐体内壁镀膜的真空阴极电弧镀膜机，特别涉及一种所述镀膜机真空镀室内电弧源组件的驱动系统。所述大型罐体指一端开口另一端具有外凸的弧形封顶盖，直径1.5米—3.3米x高2.5米—3.8米的罐体。

背景技术

常用真空阴极电弧镀膜机用于镀硬质耐磨的工模具保护膜、或镀硬质耐划花耐腐蚀的日用品装饰膜，最典型的镀层是氮化钛，它呈金黄色，有较高硬度，有较好的耐磨耐蚀性能，常被用于工模具保护膜和各种用品的装饰膜。大型的镀膜机要数镀不锈钢饰板(如长3.2米x宽1.2米)的镀膜机，立式镀室直径2-5米x高2-4米，又如镀不锈钢长管(如直径40毫米x6米)的镀膜机，卧式镀室直径2米x长7米，这类型镀膜机都是30--50只电弧靶位，安置在镀室外壁上，向炉内工件发射靶材镀料等离子体，在工件外表面沉积成膜，或在工件外表面镀料(如Ti)与反应气体(如 N)合成化合物膜(TiN)。这些机型技术比较成熟了，但要求在大型罐体的内壁上，用真空阴极电弧镀TiN膜的镀膜设备，国内外尚未有报导。

实用新型内容

综合而言，新型镀膜机应具有如下特点：(1)镀膜时，被镀的大型罐体的内腔需要抽真空；(2)由于需要在罐体内壁上镀膜，镀膜时，电弧源要安装在大型罐体内的支承物上，连接电弧源的水、电、气都要引入罐体内腔；(3)电弧源的设置方式还要能完成大型罐体弧形封顶盖的仰角镀膜；(4)罐体内径有多种尺寸，电弧源镀膜时要适应这些尺寸变化；(5)罐体高度有多种尺寸，电弧源镀膜时也要适应这种高度的变化。这些要求，现有镀膜机都无法实现。

本实用新型的发明目的是提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，利用该驱动系统，可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递，从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件，在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动，且所述旋转运动和升降运动由两套独立的驱动机构分别控制，从而实现调速方便。

本实用新型的发明目的具体通过如下技术方案实现：一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，其特征在于，包括炉体底板、旋转架、升降台、转盘、转动轴、驱动机构和传动机构；