[实用新型]快速响应薄膜压力传感器有效
申请号: | 201721344252.1 | 申请日: | 2017-10-17 |
公开(公告)号: | CN207456664U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 雷念程 | 申请(专利权)人: | 雷念程 |
主分类号: | G01L7/02 | 分类号: | G01L7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种快速响应薄膜压力传感器,包括敏感芯体、基座、外壳组成,其特征在于:所述基座下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹,下端内部开有与所述敏感芯体吻合的基座凸台,上端外部开有与所述外壳吻合的上螺纹;所述外壳下端内侧设计有与所述基座的上螺纹吻合的内螺纹,所述外壳上端中心位置开有过线通孔。敏感芯体安装在基座的凸台位置使其直接接触介质。由于将溅射薄膜压力传感器芯体移至传感器最前端,使介质无需通过介质通道直接作用在敏感芯体上,消除管腔效应,获得传感器较高的响应速度。这样能获得体积小、测量精度高、稳定性好、温度范围宽、响应速度快、生产成本低的高性能薄膜压力传感器产品。 | ||
搜索关键词: | 敏感芯体 薄膜压力传感器 下端 吻合 快速响应 上螺纹 传感器 本实用新型 测量精度高 高性能薄膜 生产成本低 压力传感器 被测介质 管道机械 过线通孔 基座凸台 介质通道 上端中心 凸台位置 上端 响应 内螺纹 体积小 下螺纹 外部 管腔 溅射 芯体 咬合 | ||
【主权项】:
一种快速响应薄膜压力传感器,包括敏感芯体(1)、基座(2)、套在所述基座(2)上方的外壳(3)组成,其特征在于:所述基座(2)下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹(10),下端内部开有与所述敏感芯体(1)吻合的基座凸台(12),上端外部开有与所述外壳(3)吻合的上螺纹(9),中部外侧设计有六角头(19);所述六角头(19)上方内侧设计有安装密封圈(17)的密封槽(16);所述外壳(3)下端内侧设计有与所述基座(2)的上螺纹(9)吻合的内螺纹(8),所述外壳(3)上端中心位置开有过线通孔(20),所述外壳(3)顶部通过咬合螺纹(15)安装有锁紧塞(14)。
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