[实用新型]快速响应薄膜压力传感器有效
| 申请号： | 201721344252.1 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN207456664U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 雷念程 | 申请（专利权）人： | 雷念程 |
| 主分类号： | G01L7/02 | 分类号： | G01L7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感芯体 薄膜压力传感器 下端 吻合 快速响应 上螺纹 传感器 本实用新型 测量精度高 高性能薄膜 生产成本低 压力传感器 被测介质 管道机械 过线通孔 基座凸台 介质通道 上端中心 凸台位置 上端 响应 内螺纹 体积小 下螺纹 外部 管腔 溅射 芯体 咬合 | ||
1.一种快速响应薄膜压力传感器，包括敏感芯体(1)、基座(2)、套在所述基座(2)上方的外壳(3)组成，其特征在于：所述基座(2)下端外部开有与被测介质管道机械咬合的下螺纹(10)，下端内部开有与所述敏感芯体(1)吻合的基座凸台(12)，上端外部开有与所述外壳(3)吻合的上螺纹(9)，中部外侧设计有六角头(19)；所述六角头(19)上方内侧设计有安装密封圈(17)的密封槽(16)；所述外壳(3)下端内侧设计有与所述基座(2)的上螺纹(9)吻合的内螺纹(8)，所述外壳(3)上端中心位置开有过线通孔(20)，所述外壳(3)顶部通过咬合螺纹(15)安装有锁紧塞(14)。
2.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)上部外周设计有芯体凸台(13)，所述芯体凸台(13)上安装有支撑电路板(7)的电路支架(6)；所述敏感芯体(1)的输入输出信号通过内引线(4)焊接在所述电路板(7)的焊盘上，然后通过外引线(5)穿过所述过线通孔(20)向外引出；当压力作用于所述敏感芯体(1)时，所述敏感芯体(1)受力部位发生形变，输出与所受压力成比例的电信号。
3.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感元件。
4.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述敏感芯体(1)开口部位(18)加工成喇叭型。
5.如权利要求1所述的快速响应薄膜压力传感器，其特征在于：所述外壳(3)与所述基座(2)通过螺纹咬合拧紧正好压实所述密封圈(17)形成一个密封的整体。
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