[实用新型]一种单晶硅炉内导流筒有效
| 申请号： | 201721341249.4 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN207944172U | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 路建华;陈钦强 | 申请（专利权）人： | 青海日晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅炉内导流筒，包括外筒，外筒的内部设有内筒，内筒与外筒的夹层内从上至下依次设有第一导流筒、第二导流筒和第三导流筒，且夹层的内部设有保温层，内筒的内壁固定设有石英内衬。本实用新型通过设有第一导流筒、第二导流筒和第三导流筒，通过两种不同的材料制成，并通过设有散热片，由于钼和石墨的导热系数不同，在内筒处形成纵向梯度，保温层由石英棉制成，在工作的过程中，石墨与石英棉接触，防止石墨在高温的状态下，石墨与石英衬板发生反应，通过设有液位杆、第一液位传感器和第二液位传感器，当硅溶液液面上升的时候，对液位进行感应，液位上升到对应传感器的位置时，相应警示灯亮起。 | ||
| 搜索关键词： | 导流筒 石墨 内筒 外筒 本实用新型 单晶硅炉 内导流筒 保温层 石英棉 夹层 第一液位传感器 液位传感器 从上至下 导热系数 液面上升 液位上升 纵向梯度 硅溶液 警示灯 散热片 石英衬 液位杆 传感器 内壁 内衬 石英 筒处 液位 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅炉内导流筒，包括外筒(1)，其特征在于，所述外筒(1)的内部设有内筒，所述内筒与外筒(1)的夹层内从上至下依次设有第一导流筒(3)、第二导流筒(4)和第三导流筒(5)，且夹层的内部设有保温层(2)，所述内筒的内壁固定设有石英内衬(7)，所述第一导流筒(3)的一侧与石英内衬(7)之间的顶端缝隙内设有散热片(6)，所述第二导流筒(4)和第三导流筒(5)的一侧与石英内衬(7)之间的底端缝隙内设有保温层(2)，所述第三导流筒(5)的底端固定设有底板(8)，所述底板(8)通过螺纹(13)与外筒(1)的螺纹连接，所述底板(8)的底端设有液位杆(9)，所述液位杆(9)的一侧固定设有第一液位传感器(10)和第二液位传感器(11)，所述第一液位传感器(10)和第二液位传感器(11)分别通过液位杆(9)一侧设有的第一警示灯和第二警示灯与电源电性连接。
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