[实用新型]一种单晶硅炉内导流筒有效
申请号: | 201721341220.6 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN207944171U | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 路建华;陈钦强 | 申请(专利权)人: | 青海日晶光电有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 张宇 |
地址: | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅炉内导流筒,包括外筒和内筒,外筒的内侧设有反射层和保温层,保温层的一侧设有内筒,保温层和内筒之间设有空腔,内筒的顶部固定连接有分流导流筒,分流导流筒由喇叭状的排气导流筒段、水平导流环和竖直段辅助分流筒组成,外筒的顶部通过螺栓和螺母与水平导流环固定连接,外筒的底部设有出气口。本实用新型单晶硅炉内导流筒,通过保温层内部设有内筒,保温层和内筒间为空腔,且空腔厚度不小于5mm,减少保温层热量对内筒的热传导,使保温效果大打折扣,将气流分割成内外两股,从而减少气流带走加热器的热量,同时借助外筒上的保温层和反射层,屏蔽热流并反射加热器的热辐射,从而减少热量的散失。 | ||
搜索关键词: | 保温层 内筒 外筒 单晶硅炉 内导流筒 本实用新型 导流环 导流筒 反射层 空腔 加热器 螺母 反射加热器 分流 螺栓 保温效果 排气导流 出气口 分流筒 喇叭状 热传导 热辐射 竖直段 热流 屏蔽 筒段 分割 | ||
【主权项】:
1.一种单晶硅炉内导流筒,包括外筒(1)和内筒(2),其特征在于,所述外筒(1)的内侧设有反射层(9)和保温层(8),所述保温层(8)的一侧设有内筒(2),所述保温层(8)和内筒(2)之间设有空腔(7),所述内筒(2)的顶部固定连接有分流导流筒(3),所述分流导流筒(3)由喇叭状的排气导流筒段(4)、水平导流环(5)和竖直段辅助分流筒(6)组成,所述外筒(1)的顶部通过螺栓(11)和螺母(12)与水平导流环(5)固定连接,所述水平导流环(5)的内侧套设有喇叭状的排气导流筒段(4),所述水平导流环(5)的另一端套设有竖直段辅助分流筒(6),所述外筒(1)的底部设有出气口(10)。
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