[实用新型]一种具有角度定位装置的电子束曝光机校场系统有效
| 申请号： | 201721307339.1 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN207216274U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李喜玲;李华;周保范 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 乔会霞 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有角度定位装置的电子束曝光机校场系统，包括样品台主体，样品台主体包括校正区域，其中，校正区域内设置有定位凹槽和棋盘格样品，定位凹槽包括水平设置的第一凹槽以及与第一凹槽成4‑6°夹角的第二凹槽和第三凹槽，且第二凹槽与第一凹槽顺时针方向呈4‑6°，第三凹槽与第一凹槽逆时针方向呈4‑6°，棋盘格样品的底边与其中一个定位凹槽对齐设置，当电镜放大到900倍时，使所述棋盘格样品的整个校准点均落到视野范围内。有角度定位槽的存在，方便了棋盘格样品的摆放，使得棋盘格样品的摆放位置不会太偏，这样在电镜放大到900倍时，整个校准点都能落到视野中，且观察区域内的棋盘格与坐标轴偏角在程序可调控的范围之内，方便工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 角度 定位 装置 电子束 曝光 校场 系统 | ||
【主权项】：
一种具有角度定位装置的电子束曝光机校场系统，包括样品台主体，其特征在于，所述样品台主体包括校正区域，其中，所述校正区域内设置有定位凹槽和棋盘格样品，所述定位凹槽包括水平设置的第一凹槽以及与第一凹槽成4‑6°夹角的第二凹槽和第三凹槽，且所述第二凹槽与第一凹槽顺时针方向呈4‑6°，所述第三凹槽与所述第一凹槽逆时针方向呈4‑6°，所述棋盘格样品的底边与其中一个定位凹槽对齐设置，当电镜放大到900倍时，使所述棋盘格样品的整个校准点均落到视野范围内。
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