[实用新型]一种清洗装置有效
| 申请号: | 201721245617.5 | 申请日: | 2017-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN207183228U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
| 发明(设计)人: | 冯亚蜂 | 申请(专利权)人: | 浙江亚芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙)33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
| 地址: | 314419 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种清洗装置,属于机械技术领域。它解决了现有装置采用浸泡的清洗方式,无法将芯片清洗干净,清洗效果差等技术问题。本清洗装置,包括底座,底座上固定有用于放置酸液的清洗桶一和用于放置清水的清洗桶二,底座上还固定有支架,支架上设置有辅助机构,辅助机构包括移动座、升降板、转轴和转盘,移动座设置在支架上,移动座与一能带动其来回移动的移动结构相连,移动座上固定有推杆电机一,推杆电机一的推杆竖直向下,升降板固定在推杆电机一的推杆端部,转轴竖直设置在升降板上,转轴上端与一能带动其转动的动力结构相连,转轴下端和转盘相连。本实用新型具有清洗效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种清洗装置,包括底座,其特征在于,所述底座上固定有用于放置酸液的清洗桶一和用于放置清水的清洗桶二,底座上还固定有支架,支架上设置有辅助机构,辅助机构包括移动座、升降板、转轴和转盘,移动座设置在支架上,移动座与一能带动其来回移动的移动结构相连,移动座上固定有推杆电机一,推杆电机一的推杆竖直向下,升降板固定在推杆电机一的推杆端部,转轴竖直设置在升降板上,转轴上端与一能带动其转动的动力结构相连,转轴下端和转盘相连,且转盘能伸入到清洗桶一内或清洗桶二内,转盘上开设有通孔,转盘上还固定有若干安装条,安装条一端和摆杆下端相铰接,摆杆上端和放置板相连,放置板上通过搭扣可拆卸连接有用于放置芯片的储料盒,安装条另一端和推杆电机二相铰接,推杆电机二的推杆倾斜设置,推杆电机二的推杆端部和摆杆中部相铰接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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