[实用新型]一种清洗装置有效
| 申请号: | 201721245617.5 | 申请日: | 2017-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN207183228U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
| 发明(设计)人: | 冯亚蜂 | 申请(专利权)人: | 浙江亚芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙)33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
| 地址: | 314419 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种清洗装置,包括底座,其特征在于,所述底座上固定有用于放置酸液的清洗桶一和用于放置清水的清洗桶二,底座上还固定有支架,支架上设置有辅助机构,辅助机构包括移动座、升降板、转轴和转盘,移动座设置在支架上,移动座与一能带动其来回移动的移动结构相连,移动座上固定有推杆电机一,推杆电机一的推杆竖直向下,升降板固定在推杆电机一的推杆端部,转轴竖直设置在升降板上,转轴上端与一能带动其转动的动力结构相连,转轴下端和转盘相连,且转盘能伸入到清洗桶一内或清洗桶二内,转盘上开设有通孔,转盘上还固定有若干安装条,安装条一端和摆杆下端相铰接,摆杆上端和放置板相连,放置板上通过搭扣可拆卸连接有用于放置芯片的储料盒,安装条另一端和推杆电机二相铰接,推杆电机二的推杆倾斜设置,推杆电机二的推杆端部和摆杆中部相铰接。
2.根据权利要求1所述的一种清洗装置,其特征在于,所述移动结构包括导杆、导套、伺服电机、齿轮和齿条,导杆水平固定在支架上,导套设置在导杆上,齿条水平固定在支架上,且齿条与导杆相互平行,伺服电机固定在导套上,伺服电机的输出轴水平设置,齿轮固定在伺服电机的输出轴端部,且齿轮与齿条相啮合,移动座固定在导套上。
3.根据权利要求1所述的一种清洗装置,其特征在于,所述动力结构包括减速电机、主动轮和从动轮,减速电机固定在升降板上,减速电机的输出轴竖直向下,主动轮固定在减速电机的输出轴端部,从动轮固定在转轴上端,且从动轮与主动轮相啮合。
4.根据权利要求1所述的一种清洗装置,其特征在于,所述底座上还设置有喷水机构,喷水机构包括立柱、水箱和喷水管,立柱固定在底座上,喷水管通过连杆固定在立柱上,且喷水管位于清洗桶二的正上方,喷水管一端为封闭端,喷水管另一端通过连接管和水箱相连通,连接管上设置有水泵,喷水管侧部还设有若干出水孔,且出水孔朝下。
5.根据权利要求4所述的一种清洗装置,其特征在于,所述连接管上还设置有流量调节阀。
6.根据权利要求1所述的一种清洗装置,其特征在于,所述底座上具有提示机构,提示机构包括pH传感器一、pH传感器二、控制器和提示灯,pH传感器一设置在清洗桶一内,pH传感器二设置在清洗桶二内,提示灯固定在底座上,pH传感器一、pH传感器二和提示灯通过线路与该控制器相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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