[实用新型]一种玻璃钝化石英舟

摘要

本实用新型提供了一种玻璃钝化石英舟，属于半导体器件的芯片钝化载具技术领域，包括托板及单舟，其特征在于，单舟包括对应设置的盖板和底座，盖板和底座之间沿纵向设置有至少三个舟棒，舟棒的横截面设置为矩形，舟棒内侧设置有用于承载晶片的开槽，舟棒内侧面设置为与晶片边缘相切，盖板的下表面及底座的上表面对应设置有圆环形滑槽，舟棒的上端和下端分别设置有与滑槽相配合的滑块，舟棒的上端和下端通过滑块分别与盖板和底座以滑动的方式相连接，底座的下端设置有固定扣；具有装舟方便、承载稳定性好的优点，大大提高了工作效率以及晶片的良率。

主权项

一种玻璃钝化石英舟，包括托板（1）以及设置在托板（1）上的预设数量的单舟（2），其特征在于，所述单舟（2）包括对应设置的盖板（3）和底座（5），盖板（3）和底座（5）之间沿纵向设置有至少三个舟棒（4），所述舟棒（4）的横截面设置为矩形，舟棒（4）内侧设置有用于承载晶片的开槽（6），舟棒（4）内侧面设置为与晶片边缘相切，所述盖板（3）的下表面及底座（5）的上表面对应设置有圆环形滑槽（7），舟棒（4）的上端和下端分别设置有与滑槽（7）相配合的滑块（41），舟棒（4）的上端和下端通过滑块（41）分别与盖板（3）和底座（5）以滑动的方式相连接，所述底座（5）的下端设置有固定扣（8），托板（1）上设置有与固定扣（8）相对应的通孔（11），底座（5）通过固定扣（8）穿过通孔（11）与托板（1）相连接。