[实用新型]一种可重复利用的研磨方轴夹具有效
| 申请号： | 201721179428.2 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN207265011U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王碧浪 | 申请（专利权）人： | 上海怀德机电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/463 | 分类号： | H01L21/463 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司11596 | 代理人： | 李韵 |
| 地址： | 201204 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可重复利用的研磨方轴夹具，包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上；本实用新型提供的可重复利用的研磨方轴夹具，采用一种方轴夹具，能精确地控制晶圆研抛的方向，因而可获得精确的研磨精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重复 利用 研磨 夹具 | ||
【主权项】：
一种可重复利用的研磨方轴夹具，其特征在于：包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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