[实用新型]晶圆检查设备的镜头壳体组合

摘要

一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，包含外壳体，具有一顶部，外壳体于该顶部具有第一孔，外壳体于外围具有槽体。透明片，设置在外壳体，并且盖住第一孔。外盖，设置在外壳体，外盖具有第二孔和第三孔，且外盖与外壳体之间形成第一间隙，第一间隙连通第二孔和第三孔。以及框体，套设在外壳体或外盖，框体位在槽体上方，框体具有顶缘，顶缘位置同高或高出外盖。由此，减少受测晶圆上的芯片脱离蓝膜或互相碰撞的情况，也减少蓝膜上的余液。

主权项

一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，其特征在于，该镜头壳体组合包含：一外壳体，具有一顶部，该外壳体于该顶部具有一第一孔，该外壳体于外围具有一槽体；一透明片，设置在该外壳体，并且盖住该第一孔；一外盖，设置在该外壳体，该外盖具有一第二孔和一第三孔，且该外盖与该外壳体之间形成一第一间隙，该第一间隙连通该第二孔和该第三孔；以及一框体，套设在该外壳体或该外盖，该框体位在该槽体上方，该框体具有一顶缘，该顶缘位置同高或高出该外盖。