[实用新型]一种适用于太阳能电池的进气系统

摘要

本实用新型公开了一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体，还包括：用于气体进入所述炉体的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路，所述旁路管路的两端分别通过连接阀连接于位于所述炉体与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路上沿所述气体流量计至所述炉体的方向依次设置有泄压阀和气路报警装置。该进气系统通过设置旁路管路能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。

主权项

1.一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体(1)，其特征在于，还包括：用于气体进入所述炉体(1)的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路(10)，所述旁路管路(10)的两端分别通过连接阀(11)连接于位于所述炉体(1)与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路(10)上沿所述气体流量计至所述炉体(1)的方向依次设置有泄压阀(12)和气路报警装置(13)。