[实用新型]一种适用于太阳能电池的进气系统

权利要求书

1.一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体(1)，其特征在于，还包括：

用于气体进入所述炉体(1)的管路，所述管路设置有气体流量计；及

与所述管路并列设置的旁路管路(10)，所述旁路管路(10)的两端分别通过连接阀(11)连接于位于所述炉体(1)与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路(10)上沿所述气体流量计至所述炉体(1)的方向依次设置有泄压阀(12)和气路报警装置(13)。

2.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述旁路管路(10)的直径为10～25mm。

3.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，所述旁路管路(10)的直径为15mm。

4.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述连接阀(11)为三通阀。

5.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述泄压阀(12)的泄压阀值为3～5bar。

6.根据权利要求5所述的进气系统，其特征在于，所述泄压阀(12)的泄压阀值为4bar。

7.根据权利要求1～6任一项所述的进气系统，其特征在于，所述管路包括用于氮气进入所述炉体(1)的第一管路(3)，所述第一管路(3)设置有氮气流量计(2)，所述旁路管路(10)的两端分别连接于位于所述氮气流量计(2)和所述炉体(1)之间的所述第一管路(3)上。

8.根据权利要求1～6任一项所述的进气系统，其特征在于，所述管路包括用于氧气进入所述炉体(1)的第二管路(5)，所述第二管路(5)设置有氧气流量计(4)，所述旁路管路(10)的两端分别连接于位于所述氧气流量计(4)和所述炉体(1)之间的所述第二管路(5)上。

9.根据权利要求1～6任一项所述的进气系统，其特征在于，所述管路包括：

用于通源气体进入源瓶(8)的第三管路(7)，所述第三管路(7)连接有通源氮气流量计(6)；及

用于所述源瓶(8)流出的携源气体进入所述炉体(1)的第四管路(9)；

其中，所述旁路管路(10)的一端连接于位于所述通源氮气流量计(6)与所述源瓶(8)之间的所述第三管路(7)上、另一端连接于位于所述源瓶(8)与所述炉体(1)之间的所述第四管路(9)上。

10.根据权利要求1～6任一项所述的进气系统，其特征在于，所述管路的压力范围为2.5～3.5bar。