[实用新型]一种适用于太阳能电池的进气系统

说明书

本实用新型公开了一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体，还包括：用于气体进入所述炉体的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路，所述旁路管路的两端分别通过连接阀连接于位于所述炉体与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路上沿所述气体流量计至所述炉体的方向依次设置有泄压阀和气路报警装置。该进气系统通过设置旁路管路能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种适用于太阳能电池的进气系统。

背景技术

太阳能电池在生产过程中，通过扩散以形成PN结，现有技术中的扩散通常是通过扩散炉实现。

扩散炉主要由气路系统、加热系统、炉体等部分组成。而气路系统又可细分为进气系统与出气系统等组成部分，其中进气系统气体主要由氮气、通源氮气、氧气组成。如图1所示，由外围提供的氮气与氧气气体通过相应的氮气流量计2′与氧气流量计4′后通过对应第一管路3′与第二管路5′进入炉体1′，通源氮气则在通过通源氮气流量计6′后通过对应第三管路7′进入源瓶8′，以携带气态三氯氧磷后再通过对应第四管路9′进入炉体1′。

由于第一管路1′、第二管路2′、第三管路3′及第四管路4′都是一条独立的管路，若任意一条管路及源瓶在实际生产过程中发生堵塞现象，则会带来源瓶爆瓶、磷源泄露以及硅片返工等意外状况的发生。

为此，亟需一种新型的进气系统用于解决上述管路存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种适用于太阳能电池的进气系统，能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体，还包括：

用于气体进入所述炉体的管路，所述管路设置有气体流量计；及

与所述管路并列设置的旁路管路，所述旁路管路的两端分别通过连接阀连接于位于所述炉体与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路上沿所述气体流量计至所述炉体的方向依次设置有泄压阀和气路报警装置。

优选的，所述旁路管路的直径为10～25mm。

优选的，所述旁路管路的直径为15mm。

优选的，所述连接阀为三通阀。

优选的，所述泄压阀的泄压阀值为3～5bar。

优选的，所述泄压阀的泄压阀值为4bar。

优选的，所述管路包括用于氮气进入所述炉体的第一管路，所述第一管路设置有氮气流量计，所述旁路管路的两端分别连接于位于所述氮气流量计和所述炉体之间的所述第一管路上。

优选的，所述管路包括用于氧气进入所述炉体的第二管路，所述第二管路设置有氧气流量计，所述旁路管路的两端分别连接于位于所述氧气流量计和所述炉体之间的所述第二管路上。

优选的，所述管路包括：

用于通源气体进入源瓶的第三管路，所述第三管路连接有通源氮气流量计；及

用于所述源瓶流出的携源气体进入所述炉体的第四管路；

其中，所述旁路管路的一端连接于位于所述通源氮气流量计与所述源瓶之间的所述第三管路上、另一端连接于位于所述源瓶与所述炉体之间的所述第四管路上。

优选的，所述管路的压力范围为2.5～3.5bar。

本实用新型的有益效果为：